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光掩膜的制作要求
光掩膜制作对环境的要求：
1、恒温恒湿：
温度：23±0.5℃（10级净化房），23±0.3℃（1级净化房）
湿度：50±5%RH
2、超级净化：
大多数区域：10级净化
局部区域：1级净化（每立方英尺的空间内，直径大于0.5微米的尘埃颗粒数不能超过1个）。
光掩膜制作人员的要求：
1、心态平稳，作业期间任何时候都能保持沉着冷静。
2、言行举止任何细节都达到净化要求。
3、娴熟的操作技能，任何一个细微动作都次次做对。
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